[发明专利]一种外延片的检测方法及装置有效

专利信息
申请号: 202111243865.7 申请日: 2021-10-26
公开(公告)号: CN113680710B 公开(公告)日: 2022-01-18
发明(设计)人: 王岩;徐鹏飞;罗帅;季海铭 申请(专利权)人: 江苏华兴激光科技有限公司
主分类号: B07C5/342 分类号: B07C5/342;B07C5/36;B07C5/38;G01N21/88;H01L21/66;H01L21/677
代理公司: 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 代理人: 詹朝
地址: 221300 江苏省徐州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 外延 检测 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种外延片的检测装置,其特征在于,包括检测平台,检测平台上设有输送机构和光检测机构,检测平台的下方设有次品输送带,所述输送机构包括两个前后对称设置的链条机构,两个链条机构之间设置物料带,两个链条机构用于向右输送物料带,物料带的材料为柔性材料,物料带上设有多个物料筒,物料筒的顶部和底部设有开口,物料筒的底部开口上设有开关板,开关板与物料筒滑动连接,开关板上设有与物料筒的开口形状大小一致的孔,每个链条机构包括两个输送链轮和一个输送链条,输送链条绕在两个输送链轮上,两个输送链轮位于同一平面内,两个输送链轮的中心设置链轮轴,并且两个输送链轮的链轮轴均是纵向设置,链轮轴通过轴承与检测平台转动的连接,两个输送链轮中的任意一个输送链轮连接链轮电机的输出轴;两个输送机构的输送链轮的旋转方向相反但是旋转速度相同;

输送链条由多个链节连接构成,链节由两个对称设置的链板组成,相邻的链节的链板之间通过销轴转动的连接,链节的链板的远离输送链轮的一侧连接有夹具座,夹具座上设置夹具,夹具包括两个对称设置于链节两侧的翻板,翻板通过转轴连接夹具座,翻板远离输送链轮的一面设有夹块,翻板靠近输送链轮的一面设有导杆,靠近物料带的一段输送链条的远离物料带的一侧设有导轨,导轨连接检测平台,夹具的导杆与导轨接触时两个翻板旋转相互靠近,使夹块夹住物料带;

光检测机构包括检测座和检测支架,检测座通过检测支架连接检测平台,检测座位于物料带的上方,检测座上设有光源和光收集器,光源发射光线照射到物料带上的工件上,工件表面反射的光线被光收集器收集,光收集器至少包括收集镜头和用于采集光信号的传感器;

光收集器下方的物料带的一侧设有开关机构,开关机构包括推板以及连接推板的直线驱动机构,直线驱动机构用于驱动推板向物料带一侧移动,推板与物料带的物料筒的开关板位于同一水平面;光收集器下方的检测平台上设有直径大于物料筒的开口的孔;所述检测座通过纵向设置的升降滑轨连接检测支架,检测支架上设有用于驱动检测座沿升降滑轨直线移动的升降机构,升降机构包括第二丝杆副,第二丝杆副的丝杆通过轴承连接检测支架,第二丝杆副的丝杆的上端连接手轮或第二丝杆电机,第二丝杆副的螺母固定的连接检测座;

检测平台的右侧设置收卷辊,左侧设置放卷辊,收卷辊和放卷辊分别用于收卷和放卷物料带。

2.根据权利要求1所述的一种外延片的检测装置,其特征在于,所述夹块的顶部一侧设有斜面。

3.根据权利要求1所述的一种外延片的检测装置,其特征在于,所述导杆与链节的链板之间设有限位块,限位块固定的连接链板,限位块使翻板旋转至与链板平行时停止转动。

4.根据权利要求3所述的一种外延片的检测装置,其特征在于,所述翻板与链板之间设有拉簧,拉簧的两端分别连接翻板和链板。

5.根据权利要求1所述的一种外延片的检测装置,其特征在于,所述次品输送带包括皮带,皮带绕在两个输送辊上,输送辊的两端通过轴承连接输送架,其中一个输送辊的一端连接输送电机的输出端。

6.根据权利要求1所述的一种外延片的检测装置,其特征在于,所述直线驱动机构包括设置于检测平台上的气缸或液压缸,气缸或液压缸的活塞杆连接推板。

7.根据权利要求1所述的一种外延片的检测装置,其特征在于,所述直线驱动机构包括第一丝杆副,第一丝杆副的丝杆通过轴承连接检测平台,第一丝杆副的丝杆的一端通过联轴器连接第一丝杆电机的输出端,第一丝杆副的螺母固定的连接推板。

8.根据权利要求1所述的一种外延片的检测装置,其特征在于,所述光源连接旋转座,旋转座通过转轴连接检测支架,光源能够绕旋转座的转轴在竖直平面内旋转。

9.根据权利要求1所述的一种外延片的检测装置的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤S1,链轮电机驱动输送链条回转运动,带动物料带向右移动;

步骤S2,物料带的一个工件移动到光收集器的正下方时物料带停止移动;

步骤S3,光检测机构对光收集器的正下方的工件进行检测,如果检测合格,则物料带向右移动使下一个工件移动到光收集器的下方;如果检测不合格,则开关机构驱动推板推动光收集器的正下方的物料筒的开关板,使该物料筒内的工件落到下方的次品输送带上,然后物料带向右移动使下一个工件移动到光收集器的下方;

步骤S4,重复执行步骤S3,直至物料带上的所有工件被光检测机构检测。

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