[发明专利]一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置在审
| 申请号： | 202111231120.9 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN116007783A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;邓永琪;梁海洋 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | G01K13/00 | 分类号： | G01K13/00;G01K1/14;C23C14/54 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了解决温度传感器处于固定状态，很难实时的检测工件架周围的实际温度，使得温度计的测量不准，这样对于PVD真空镀膜机工作腔室的温度的控制就会不准，会直接影响真空镀膜的效果的问题，本发明提出一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，采用大盘固定架上设有可拆卸的炉腔测温装置，炉腔测温装置包括上炉腔测温装置和下炉腔测温装置，上炉腔测温装置安装在大盘的上部，下炉腔测温装置安装在大盘的下部，采用卡箍组件进行固定，同时第一连接杆和第二连接的长度通过模仿刀的直径，可以调节炉腔测温装置与待镀膜工件的位置，调至待镀膜工件的位置的位置，模拟工件实际的温度，测量的温度更加准确，提高了真空镀膜的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可拆卸 真空镀膜 测温 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州星蓝纳米技术有限公司，未经苏州星蓝纳米技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111231120.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种硅铝分子筛催化剂及其制备和应用
- 下一篇：一种含NMN的抗衰老组合物
