[发明专利]一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置

说明书

为了解决温度传感器处于固定状态，很难实时的检测工件架周围的实际温度，使得温度计的测量不准，这样对于PVD真空镀膜机工作腔室的温度的控制就会不准，会直接影响真空镀膜的效果的问题，本发明提出一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，采用大盘固定架上设有可拆卸的炉腔测温装置，炉腔测温装置包括上炉腔测温装置和下炉腔测温装置，上炉腔测温装置安装在大盘的上部，下炉腔测温装置安装在大盘的下部，采用卡箍组件进行固定，同时第一连接杆和第二连接的长度通过模仿刀的直径，可以调节炉腔测温装置与待镀膜工件的位置，调至待镀膜工件的位置的位置，模拟工件实际的温度，测量的温度更加准确，提高了真空镀膜的效果。

技术领域

本发明属于表面处理技术领域，较为具体的，涉及到一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置。

背景技术

PVD真空镀膜机在工作时，大盘的上表面固定有一个或者多个工件架，所述的一个或者多个工件架可以在大盘的上表面发生自旋转，大盘的下表面设有转轴，转轴与空心管固定连接，空心管从真空镀膜机工作腔室的内部穿过真空镀膜机的底板，从而延伸到真空镀膜机工作腔室的外部，在空心管的外围固定有齿轮，齿轮的外围包覆有皮带轮，皮带轮在电机的电机轴的带动下发生旋转动作，从而带动大盘发生公转。

PVD真空镀膜的过程中，温度的控制十分重要，目前，现有的PVD真空镀膜机的测温装置为，在真空镀膜机工作腔室的内部固定设有一个或多个温度传感器，温度传感器的传输线从空心管中穿过并延伸至温度较低的空心管的底部，并在空心管的底部固定有温度计，这样可以测量PVD真空镀膜机工作腔室的温度。但是采用这种结构，由于温度传感器处于固定状态，很难实时的检测工件架周围的实际温度，使得温度计的测量不准，这样对于PVD真空镀膜机工作腔室的温度的控制就会不准，会直接影响真空镀膜的效果。

发明内容

有鉴于此，为了解决温度传感器处于固定状态，很难实时的检测工件架周围的实际温度，使得温度计的测量不准，这样对于PVD真空镀膜机工作腔室的温度的控制就会不准，会直接影响真空镀膜的效果的问题，本发明提出一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，采用大盘固定架3上设有可拆卸的炉腔测温装置4，炉腔测温装置4包括上炉腔测温装置41和下炉腔测温装置46，上炉腔测温装置41安装在大盘的上部，下炉腔测温装置46安装在大盘的下部，采用卡箍组件进行固定，同时第一连接杆42和第二连接的长度通过模仿刀的直径，可以调节炉腔测温装置4与待镀膜工件的位置，调至待镀膜工件的位置的位置，模拟工件实际的温度，测量的温度更加准确，提高了真空镀膜的效果。

一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室内的大盘，大盘包括底盘1和顶盘2，底盘1和顶盘2之间设有大盘固定架3，其特征在于：大盘固定架3上设有可拆卸的炉腔测温装置4。

进一步的，所述大盘固定架3外部设有工件架安装组件，工件架安装组件包括上安装组件51和下安装组件53，所述上安装组件51位于顶盘2的外缘，下安装组件53位于底盘1的外缘，所述上安装组件51由多个上安装件52间隔设置组成，所述下安装组件53由多个下安装件54间隔设置组成，所述上下相邻的上安装件52与下安装件54一一对应设置。

进一步的，工件架与工件架安装组件连接，工件架的上端连接对应的上安装件52，工件架的下端连接对应的下安装件54。

进一步的，大盘固定架3由多根间隔平行的固定杆31组成，固定杆31的一端垂直连接顶盘2，固定杆31的另一端垂直连接底盘1，多根固定杆31形成一个圆周。

进一步的，炉腔测温装置4包括上炉腔测温装置41和下炉腔测温装置46，上炉腔测温装置41安装在大盘的上部，下炉腔测温装置46安装在大盘的下部。

进一步的，上炉腔测温装置41由上卡箍组件和上温度传感器45组成，上温度传感器45位于上卡箍组件的一端，上卡箍组件的另一端与大盘其中一根固定杆31可拆卸垂直连接。