[发明专利]一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置

权利要求书

1.一种可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室内的大盘，大盘包括底盘(1)和顶盘(2)，底盘(1)和顶盘(2)之间设有大盘固定架(3)，其特征在于：大盘固定架(3)上设有可拆卸的炉腔测温装置(4)。

2.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：所述大盘固定架(3)外部设有工件架安装组件，工件架安装组件包括上安装组件(51)和下安装组件(53)，所述上安装组件(51)位于顶盘(2)的外缘，下安装组件(53)位于底盘(1)的外缘，所述上安装组件(51)由多个上安装件(52)间隔设置组成，所述下安装组件(53)由多个下安装件(54)间隔设置组成，所述上下相邻的上安装件(52)与下安装件(54)一一对应设置。

3.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：工件架与工件架安装组件连接，工件架的上端连接对应的上安装件(52)，工件架的下端连接对应的下安装件(54)。

4.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：大盘固定架(3)由多根间隔平行的固定杆(31)组成，固定杆(31)的一端垂直连接顶盘(2)，固定杆(31)的另一端垂直连接底盘(1)，多根固定杆(31)形成一个圆周。

5.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：炉腔测温装置(4)包括上炉腔测温装置(41)和下炉腔测温装置(46)，上炉腔测温装置(41)安装在大盘的上部，下炉腔测温装置(46)安装在大盘的下部。

6.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：上炉腔测温装置(41)由上卡箍组件和上温度传感器(45)组成，上温度传感器(45)位于上卡箍组件的一端，上卡箍组件的另一端与大盘其中一根固定杆(31)可拆卸垂直连接。

7.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：下炉腔测温装置(46)由下卡箍组件和下温度传感器(43)组成，下温度传感器(43)位于下卡箍组件的一端，下卡箍组件的另一端与大盘其中一根固定杆(31)可拆卸垂直连接。

8.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：上卡箍组件由第一连接杆(42)和第一连接块(44)组成，所述第一连接杆(42)的一端连接上温度传感器(45)，所述第一连接杆(42)的另一端设有第一圆弧凹槽，所述第一连接块(44)对应位置设有第二圆弧凹槽，第一圆弧凹槽、第二圆弧凹槽相对于固定杆(31)抱箍锁紧，当需要上下移动位置时，拆开第一连接杆(42)和第一连接块(44)就可以随意调节上卡箍组件的高度。

9.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：下卡箍组件由第二连接杆(47)和第二连接块(48)组成，所述第二连接杆(47)的一端连接下温度传感器(43)，所述第二连接杆(47)的另一端设有第三圆弧凹槽，所述第二连接块(48)对应位置设有第四圆弧凹槽，第三圆弧凹槽、第四圆弧凹槽相对于固定杆(31)抱箍锁紧，当需要上下移动位置时，拆开第二连接杆(47)和第二连接块(48)就可以随意调节上卡箍组件的高度。

10.如权利要求1所述的可拆卸的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：底盘(1)中部设有空心管(55)，空心管(55)下部设有连接端子(6)，上温度传感器(45)和下温度传感器(43)的传输线穿过空心管(55)连接连接端子(6)的上端，连接端子(6)的下端连接外部的电源线的电源端子。