[发明专利]在衬底上制备膜层的装置和方法在审
| 申请号： | 202111205805.6 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN115976472A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 汪远;周学通;张博;吴禹 | 申请（专利权）人： | 南京微纳科技研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/54;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 弋梅梅;臧建明 |
| 地址： | 211800 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种在衬底上制备膜层的装置和方法。在衬底上制备膜层的装置包括：盛液容器和驱动单元和连接组件；盛液容器具有容纳腔，容纳腔用于容纳可在衬底上成膜的成膜液体；连接组件用于与衬底连接，驱动单元与连接组件连接，以通过连接组件驱动衬底浸入成膜液体内，或者移出成膜液体。本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，能提高膜层制备效率。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
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