[发明专利]在衬底上制备膜层的装置和方法

说明书

本发明提供一种在衬底上制备膜层的装置和方法。在衬底上制备膜层的装置包括：盛液容器和驱动单元和连接组件；盛液容器具有容纳腔，容纳腔用于容纳可在衬底上成膜的成膜液体；连接组件用于与衬底连接，驱动单元与连接组件连接，以通过连接组件驱动衬底浸入成膜液体内，或者移出成膜液体。本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，能提高膜层制备效率。

技术领域

本发明涉及光子晶体制备技术，尤其涉及一种在衬底上制备膜层的装置和方法。

背景技术

有序纳米阵列结构因其独特的性能，在生物传感、化学传感、微纳光学、表面增强拉曼散射等领域有着广泛的应用前景。常见的制备有序纳米阵列结构的方式包括电子束曝光、纳米压印技术以及纳米微球技术等。其中，纳米微球技术对比以上提到的其他两种技术有明显的优势。

现有的制备工艺采用垂直沉积法的方式在衬底上制备膜层。将衬底插入溶液中，纳米微球在溶液蒸发的过程中，逐步吸附在衬底的表面，形成单层的结构，需要在较高的温度下实现，通常利用烘箱来控制温度70℃左右。

但是，垂直沉积法整体工艺较为复杂，蒸发的时间较长。

发明内容

本发明提供一种在衬底上制备膜层的装置和方法，能提高膜层制备效率。

第一方面，本发明提供一种在衬底上制备膜层的装置，包括盛液容器和驱动单元和连接组件；

盛液容器具有容纳腔，容纳腔用于容纳可在衬底上成膜的成膜液体；

连接组件用于与衬底连接，驱动单元与连接组件连接，以通过连接组件驱动衬底浸入成膜液体内，或者移出成膜液体。

在一种可能的实现方式中，本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，驱动单元包括驱动组件和移动件，移动件与连接组件连接，驱动组件驱动移动件沿竖直方向升降，以使连接组件带动衬底沿竖直方向升降。

在一种可能的实现方式中，本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，驱动组件包括驱动件和与驱动件连接的旋转件，旋转件的轴线沿竖直方向延伸，旋转件上具有外螺纹，移动件上具有螺纹孔，旋转件部分插设在螺纹孔内，驱动件驱动旋转件绕旋转件的轴线旋转，以使移动件相对于旋转件升降；

或者，驱动组件为活塞驱动组件；

或者，驱动组件为直线电机。

在一种可能的实现方式中，本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，驱动单元还包括支撑架，支撑架包括底座设置在底座上的导向件，导向件上开设有滑槽，滑槽沿竖直方向延伸，移动件插设于滑槽内，且沿滑槽的延伸反向升降；

驱动件与底座连接；

或者，驱动件连接在导向件的顶端。

在一种可能的实现方式中，本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，连接组件包括连接杆和连接件；

连接杆一端与移动件连接，连接杆另一端与连接件连接，连接件用于连接衬底。

在一种可能的实现方式中，本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，连接件与连接杆垂直，连接件沿竖直方向延伸。

在一种可能的实现方式中，本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，连接件包括连接件本体和与连接件本体连接的连接部，连接件本体与连接杆另一端固接；

连接部为挂钩，挂钩用于插设在衬底上的通孔中；

或者，连接部为夹持部，夹持部用于夹持衬底。

在一种可能的实现方式中，本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，容纳腔的底壁设置有凹槽，凹槽用于容纳成膜液体和至少部分衬底。

在一种可能的实现方式中，本发明提供的在衬底上制备膜层的装置，还包括注射单元；