[发明专利]一种晶圆真空搬运机械装置

摘要

本发明涉及晶圆加工搬运的技术领域，特别是涉及一种晶圆真空搬运机械装置，其提高对晶圆搬运的长度跨度，同时提高搬运的晶圆尺寸跨度，降低设备的使用局限性，满足较多的使用要求；包括支撑柱、第一支撑臂、第二支撑臂与设置于第二支撑臂上侧的支撑叉，还包括移动机构、升降机构、旋转机构、调节机构和两组拉伸机构，移动机构包括第一传动结构第一限位结构，移动机构外侧壁设置有第一外壳，第一外壳上侧设置有底板，第一传动结构包括第一电机、第一螺纹杆和第一螺纹管，所述升降机构包括第二传动结构和第二限位结构，第二传动结构包括第二电机、第二螺纹杆和第二螺纹管，支撑叉包括支撑板和两组叉体，两组叉体均包括第一叉体和第二叉体。