[发明专利]一种发光器件转印方法及发光器件转印系统

摘要

本申请实施例公开了一种发光器件转印方法及发光器件转印系统。通过在发光器件上增加缓冲层，再利用转印探针嵌入缓冲层拾取发光器件进行转印。由于是将转印探针嵌入发光器件上的缓冲层对发光器件进行转移，因而不存在各个发光器件受力不均的问题。由此，能够将发光器件精准置于目标区域，进而提升发光二极管转移的良率。另外，本申请实施例提供的发光器件转印方法中的转印探针可以选用微纳探针。微纳探针的针体较小，能够对微型发光二极管或迷你发光二极管进行转印。采用微纳探针进行转印，能够避免采用真空吸附的转移探头精度小的情况下吸附力过小难以吸附发光器件的情况，使发光器件在转移过程中保持稳定。