[发明专利]一种CVD装置及其分散进气方法

摘要

一种CVD装置，包括外腔体、外腔盖，外腔体内部设置有内反应腔A、内反应腔B以及内反应腔C；外腔盖上设置有蜗杆减速机、伺服减速电机、升降装置、升降架以及花键轴，蜗杆减速机设置在外腔盖上，伺服减速电机与蜗杆减速机固定连接，升降装置为两个，两个升降装置设置在外腔盖上，升降架设置在两个升降装置的顶部，花键轴转动设置在蜗杆减速机内，且花键轴一端与升降架固定连接、另一端穿过外腔盖并往外腔体内延伸，花键轴朝向外腔体的一端固定连接有安装板，安装板上设置有与内反应腔A、内反应腔B、内反应腔C对应的第一内腔盖、第二内腔盖、第三内腔盖，第一内腔盖、第二内腔盖、第三内腔盖朝向外腔体底部的一面均固定设置有托架。