[发明专利]一种声表面滤波器的封装结构在审
申请号: | 202111157046.0 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN113922783A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 钟慧;刘旻俊;霍振选;刘湉隽;李天年;王华磊 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H03H9/05 | 分类号: | H03H9/05;H03H9/10;H03H9/64 |
代理公司: | 成都智言知识产权代理有限公司 51282 | 代理人: | 李勇 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种声表面滤波器的封装结构,解决了传统技术中气密性无法达到封装要求、工艺难度较高,工序复杂的问题,其包括基板,所述基板的顶部设置有叉指换能器与叉指电极,所述基板的顶部固定设置有光刻胶侧壁,所述光刻胶侧壁的顶部固定设置有盖帽层,所述光刻胶侧壁与所述盖帽层形成空腔,所述叉指换能器、叉指电极置于所述空腔内部,实现了简化声表滤波器的封装流程,降低成本,同时保证封装的气密性的技术效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 滤波器 封装 结构 | ||
【主权项】:
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