[发明专利]载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 202111147421.3 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN114326319A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 大豆生田吉广 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法。提供有利于降低第1载置台与第2载置台产生干扰的可能性的技术。一种载置台装置，具备：第1载置台，能够移动；第2载置台，能够在所述第1载置台之上移动；以及控制部，将所述第2载置台相对于所述第1载置台的倾斜量控制成目标倾斜量，在所述载置台装置中，所述控制部根据所述第1载置台的移动区间来设定所述目标倾斜量而控制所述倾斜量。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 装置 光刻 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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