[发明专利]载置台装置、光刻装置以及物品的制造方法

权利要求书

1.一种载置台装置，其特征在于，具备：

第1载置台，能够移动；

第2载置台，能够在所述第1载置台之上移动；以及

控制部，将所述第2载置台相对于所述第1载置台的倾斜量控制成目标倾斜量，

所述控制部根据所述第1载置台的移动区间来设定所述目标倾斜量而控制所述倾斜量。

2.根据权利要求1所述的载置台装置，其特征在于，

所述控制部在使所述第1载置台匀速移动的匀速区间，根据第1目标倾斜量来控制所述倾斜量，在使所述第1载置台加速或减速的加减速区间，根据比所述第1目标倾斜量小的第2目标倾斜量来控制所述倾斜量。

3.根据权利要求2所述的载置台装置，其特征在于，

所述第1载置台及所述第2载置台被构成为与所述倾斜量的变化相应地使所述第1载置台与所述第2载置台的间隙的大小发生变化。

4.根据权利要求3所述的载置台装置，其特征在于，

所述第2目标倾斜量被设定为使得避免由于所述倾斜量的控制偏差而导致所述间隙的大小处于容许范围外。

5.根据权利要求3所述的载置台装置，其特征在于，

所述控制部以避免在所述加减速区间中的所述第1载置台的移动时所述间隙的大小处于容许范围外的方式设定所述第2目标倾斜量。

6.根据权利要求5所述的载置台装置，其特征在于，

所述载置台装置还具备检测部，该检测部检测所述间隙的大小，

所述控制部根据在使所述第1载置台事先地移动时得到的所述检测部的检测结果，设定所述第2目标倾斜量。

7.根据权利要求3所述的载置台装置，其特征在于，

所述控制部针对使所述第1载置台加速的加速区间以及使所述第1载置台减速的减速区间中的每个区间单独地设定所述第2目标倾斜量。

8.根据权利要求3所述的载置台装置，其特征在于，

所述匀速区间是对由所述第2载置台保持的基板进行扫描曝光的区间，

所述加减速区间包括在所述扫描曝光的开始前对所述第1载置台进行加速的加速区间以及/或者在所述扫描曝光的结束后对所述第1载置台进行减速的减速区间。

9.根据权利要求8所述的载置台装置，其特征在于，

在所述匀速区间，在相对于曝光光的光轴使所述基板的法线倾斜的状态下进行所述扫描曝光，

所述第1目标倾斜量被设定为使得能够得到在所述扫描曝光中所需的所述基板的倾斜。

10.一种光刻装置，在基板上形成图案，所述光刻装置的特征在于，

所述光刻装置包括权利要求1所述的载置台装置，

所述基板由所述载置台装置的所述第2载置台保持。

11.一种光刻装置，使用原版在基板上形成图案，所述光刻装置的特征在于，

所述光刻装置包括权利要求1所述的载置台装置，

所述原版由所述载置台装置的所述第2载置台保持。

12.一种物品的制造方法，其特征在于，包括：

形成工序，使用权利要求10或11所述的光刻装置在基板上形成图案；以及

加工工序，对在所述形成工序中形成图案后的所述基板进行加工，

在所述物品的制造方法中，从在所述加工工序中加工后的所述基板制造物品。