[发明专利]背照式图像传感器的制造方法

摘要

本发明提供一种背照式图像传感器的制造方法，包括：分别提供形成有第一键合层的第一衬底和形成有第二键合层的第二衬底；将所述第一衬底和所述第二衬底键合；对所述第二衬底的表面执行CMP工艺以得到逻辑区衬底；采用减薄工艺去除第一厚度的所述第一衬底以及采用至少两道刻蚀工艺去除第二厚度的所述第一衬底以得到像素区衬底。本申请通过在像素区衬底中进行深沟槽(DTI)隔离制程之前以及在对所述第一衬底执行减薄工艺之前，对所述第二衬底的表面执行CMP工艺以形成最终的逻辑区衬底，可以有效消除逻辑区衬底表面的所有缺陷，避免了机台背压过低而报警的情况，保证了像素区衬底中的深沟槽隔离制程的顺利进行。