[发明专利]一种钛靶材及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111129840.4 申请日: 2021-09-26
公开(公告)号: CN113846300A 公开(公告)日: 2021-12-28
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C22F1/18;C21D9/00;B23P15/00
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种钛靶材及其制备方法,所述制备方法包括:钛靶坯依次经第一锻伸、第一热处理、压制、第二热处理、第一校平、第三热处理、第二校平和退火;所述第一锻伸的预热温度为460~480℃。所述制备方法针对钛靶材选用460~480℃的第一锻伸预热温度,从而使钛靶材内部的晶粒足够细化且均匀,提高了产品的质量和性能。
搜索关键词: 一种 钛靶材 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司,未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202111129840.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top