[发明专利]一种钛靶材及其制备方法在审
| 申请号: | 202111129840.4 | 申请日: | 2021-09-26 |
| 公开(公告)号: | CN113846300A | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
| 发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C22F1/18;C21D9/00;B23P15/00 |
| 代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
| 地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明提供一种钛靶材及其制备方法,所述制备方法包括:钛靶坯依次经第一锻伸、第一热处理、压制、第二热处理、第一校平、第三热处理、第二校平和退火;所述第一锻伸的预热温度为460~480℃。所述制备方法针对钛靶材选用460~480℃的第一锻伸预热温度,从而使钛靶材内部的晶粒足够细化且均匀,提高了产品的质量和性能。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 钛靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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