[发明专利]一种多层复合膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202111127420.2 | 申请日： | 2021-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN113832441A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 邓洪运;刘曙光;许奎雪;史春生 | 申请（专利权）人： | 北京市春立正达医疗器械股份有限公司;邢台市琅泰本元医疗器械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京中和立达知识产权代理有限公司 11756 | 代理人： | 祝妍 |
| 地址： | 101112 北京市通州*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多层复合膜，包括：过渡层和与其层叠的多层膜层，其中，所述多层膜层包括交替沉积的Ta、TaN膜层，且Ta、TaN膜层的厚度比为1:1。其优点是：提高了膜层的机械性能、韧性，改善膜层的耐磨损性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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