[发明专利]基于InSe场效应晶体管的核酸检测传感器及其在新冠病毒检测中的应用在审

专利信息
申请号: 202111125704.8 申请日: 2021-09-26
公开(公告)号: CN115876854A 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 陈翔;许多;李俊吉;李涵;熊云海;戴晨东;熊光楷;周钰凯;张地杰 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: G01N27/327 分类号: G01N27/327;C12Q1/68;G01N33/483
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 刘海霞
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于InSe FET的核酸检测传感器及其在新冠病毒检测中的应用。所述传感器的构建包括:(1)将机械剥离得到的超薄InSe材料作为FET传感器的沟道材料;(2)将SiO2/Si衬底上的超薄InSe通过ALD沉积Al2O3;(3)旋涂PMMA胶,利用EBL技术在PMMA层上构建电极图案;(4)通过EBE得到高质量的源、漏电极;(5)再次沉积Al2O3钝化层;(6)通过低镀率EBE沉积得到均匀分布的Au纳米颗粒作为探针位点;(7)利用EBL在沟道处制造窗口用于DNA探针修饰;(8)将器件孵育在含有DNA探针的磷酸缓冲液中。本发明的InSe FET传感器的电学性能良好,检测灵敏度高,可应用于新冠病毒的超低浓度核酸检测,同时具有核酸变异判断能力。
搜索关键词: 基于 inse 场效应 晶体管 核酸 检测 传感器 及其 病毒 中的 应用
【主权项】:
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