[发明专利]一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202111105969.1 申请日: 2021-09-22
公开(公告)号: CN113773460B 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 王富成;苏志强;赵鑫;马铮 申请(专利权)人: 浙江自立高分子化工材料有限公司
主分类号: C08G8/24 分类号: C08G8/24;G03F7/004
代理公司: 北京中知星原知识产权代理事务所(普通合伙) 11868 代理人: 王维佳;艾变开
地址: 312300 浙江省绍*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种光刻胶用酚醛树脂,是以包括以下原料缩聚制备得到:对甲酚,间甲酚,二甲酚,3,3'‑二甲基‑4,4'‑联苯二酚,2‑羟基1‑羟甲基萘,螺环二酚,甲醛和/或多聚甲醛。本发明光刻胶酚醛树脂中加入一定量的3,3'‑二甲基‑4,4'‑联苯二酚,螺环二酚和2‑羟基1‑羟甲基萘,三者在一定比例范围内发挥协同作用,使所得酚醛树脂的耐热性,以及光刻胶的分辨率和感光性同时得到了改善。本发明以三段式的生产工艺制备酚醛树脂,通过控制投料顺序,反应温度,时间等工艺条件,得到了综合性能优异的酚醛树脂,经过测试,其软化温度在136℃左右,分子量分布窄,作为光刻胶的成膜树脂,性能优异。
搜索关键词: 一种 光刻 酚醛树脂 及其 制备 方法
【主权项】:
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