[发明专利]一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法有效
申请号: | 202111105969.1 | 申请日: | 2021-09-22 |
公开(公告)号: | CN113773460B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 王富成;苏志强;赵鑫;马铮 | 申请(专利权)人: | 浙江自立高分子化工材料有限公司 |
主分类号: | C08G8/24 | 分类号: | C08G8/24;G03F7/004 |
代理公司: | 北京中知星原知识产权代理事务所(普通合伙) 11868 | 代理人: | 王维佳;艾变开 |
地址: | 312300 浙江省绍*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 酚醛树脂 及其 制备 方法 | ||
1.一种光刻胶用酚醛树脂,其特征在于,是以包括以下原料缩聚制备得到:对甲酚,间甲酚,二甲酚,3,3'-二甲基-4,4'-联苯二酚,2-羟基1-羟甲基萘,螺环二酚,甲醛和/或多聚甲醛;
所述光刻胶用酚醛树脂通过包括以下步骤的制备方法得到:
(S1)加入对甲酚,甲醛总量的30-50%和碱,升温50-55℃反应2-3h,加入稀酸中和,产物水洗至中性备用;
(S2)将步骤(S1)所得产物,间甲酚,二甲酚,2-羟基1-羟甲基萘,剩余的甲醛,70-95%的酸性催化剂以及溶剂混匀,继续升温至80-90℃反应1-3h;
(S3)继续升温至90-95℃,缓慢加入3,3'-二甲基-4,4'-联苯二酚和剩余酸性催化剂,反应2-3h,最后加入螺环二酚,继续反应1-2h,最终所得产物水洗,真空干燥后得到酚醛树脂。
2.根据权利要求1所述的光刻胶用酚醛树脂,其特征在于,所述二甲酚选自2,4-二甲酚,2,6-二甲酚,2,5-二甲酚,3,5-二甲酚,3,4-二甲酚中的至少一种。
3.根据权利要求2所述的光刻胶用酚醛树脂,其特征在于,所述二甲酚为3,5-二甲酚。
4.根据权利要求1所述的光刻胶用酚醛树脂,其特征在于,所述光刻胶用酚醛树脂,是以包括以下重量份的原料缩聚制备得到:45-55份对甲酚,50-60份间甲酚,8-12份2-羟基1-羟甲基萘,5-8份二甲酚,4-8份3,3'-二甲基-4,4'-联苯二酚,3-5份螺环二酚,100份甲醛和/或多聚甲醛。
5.根据权利要求1所述的光刻胶用酚醛树脂,其特征在于,步骤(S2)中,所述酸性催化剂为草酸,三氯乙酸,苯磺酸,丁二酸,酸性离子交换树脂中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的光刻胶用酚醛树脂,其特征在于,步骤(S3)中,所述缓慢加入是将3,3'-二甲基-4,4'-联苯二酚剩余酸性催化剂溶于溶剂中,在0.5-1h内加入。
7.根据权利要求1所述的光刻胶用酚醛树脂,其特征在于,步骤(S2)和步骤(S3)的溶剂选自乙二醇单甲醚,丙二醇甲醚醋酸酯,石油醚和正庚烷中的至少一种。
8.根据权利要求1所述的光刻胶用酚醛树脂,其特征在于,步骤(S3)中,所述水洗是除去杂质,未反应的酸和酚;真空干燥是在0.01-0.05MPa,60-80℃下干燥4-8h。
9.一种光刻胶,包括以下组分:权利要求1-4任一项所述的酚醛树脂,光敏剂和溶剂。
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