[发明专利]COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法在审

专利信息
申请号: 202111105691.8 申请日: 2021-09-22
公开(公告)号: CN113552159A 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 蔡水河;杨京三 申请(专利权)人: 常州欣盛半导体技术股份有限公司
主分类号: G01N23/2251 分类号: G01N23/2251;G01N23/2204
代理公司: 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 代理人: 朱丽莎
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及COF载带检测技术领域,公开了一种COF载带检验使用的样品载物台,包括:固定柱,以及载物台本体,载物台本体的下端面与固定柱固定连接,载物台本体上设有凸起安装部,凸起安装部的外侧面设有至少一个倾斜面,倾斜面的下端与载物台本体的上端面相连,倾斜面的上端与凸起安装部的顶面相连,倾斜面用于放置待检测的COF载带样品,倾斜面与上端面之间的夹角为α,85度≤α≤90度。本发明通过在载物台本体上设置倾斜面,使得待测样品粘贴在倾斜面上时,待检测样品可以呈一定的角度,节省了调整样品杯的步骤,节约了时间成本,提高了检测效率。
搜索关键词: cof 检验 使用 样品 载物台 及其 使用方法
【主权项】:
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