[发明专利]COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法

权利要求书

1.一种COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，包括：

固定柱（2），以及

载物台本体（1），所述载物台本体（1）的下端面（11）与所述固定柱（2）固定连接，所述载物台本体（1）上设有凸起安装部（15），所述凸起安装部（15）的外侧面设有至少一个倾斜面（14），所述倾斜面（14）的下端与所述载物台本体（1）的上端面（12）相连，所述倾斜面（14）的上端与所述凸起安装部（15）的顶面（13）相连，所述倾斜面（14）用于放置待检测的COF载带样品，所述倾斜面（14）与所述上端面（12）之间的夹角为α，85度≤α≤90度。

2.如权利要求1所述的COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，所述倾斜面（14）与所述上端面（12）之间夹角α为85度。

3.如权利要求1所述的COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，所述倾斜面（14）垂直于所述上端面（12）。

4.如权利要求2或3所述的COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，所述倾斜面（14）的数量为至少一个。

5.如权利要求4所述的COF载带检验使用的样品载物台，其特征在于，当所述倾斜面（14）的数量为多个时，所述顶面（13）的形状为长方形、三角形、正方形、五边形或六边形。

6.一种COF载带检验使用的样品载物台的使用方法，其特征在于，采用如权利要求1-5任一项所述的COF载带检验使用的样品载物台，所述使用方法包括以下步骤：

S1：将待检测的COF载带样品同时放置在倾斜面（14）上，将固定柱（2）安装至SEM电子扫描显微镜的样品杯中；

S2：通过SEM电子扫描显微镜对待检测的COF载带样品的端面、侧面和截面进行观察。

7.如权利要求6所述的COF载带检验使用的样品载物台的使用方法，其特征在于，每个倾斜面（14）能够同时放置1-2个待检测的COF载带样品。

8.如权利要求7所述的COF载带检验使用的样品载物台的使用方法，其特征在于，所述待检测的COF载带样品的表面与所述倾斜面（14）粘贴。