[发明专利]COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法

说明书

本发明涉及COF载带检测技术领域，公开了一种COF载带检验使用的样品载物台，包括：固定柱，以及载物台本体，载物台本体的下端面与固定柱固定连接，载物台本体上设有凸起安装部，凸起安装部的外侧面设有至少一个倾斜面，倾斜面的下端与载物台本体的上端面相连，倾斜面的上端与凸起安装部的顶面相连，倾斜面用于放置待检测的COF载带样品，倾斜面与上端面之间的夹角为α，85度≤α≤90度。本发明通过在载物台本体上设置倾斜面，使得待测样品粘贴在倾斜面上时，待检测样品可以呈一定的角度，节省了调整样品杯的步骤，节约了时间成本，提高了检测效率。

技术领域

本发明涉及COF载带检测技术领域，尤其涉及一种COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法。

背景技术

载带(Carrier Tape)是指在一种应用于电子包装领域的带状产品，它具有特定的厚度，在其长度方向上等距分布着用于承放电子元器件的孔穴和用于进行索引定位的定位孔。

COF（覆晶薄膜）全称为chip on film，将显示驱动芯片不经过任何封装形式，直接安到挠性电路板上，达到缩小体积、能自由弯曲的目的。COF柔性封装载带，是连接半导体显示芯片和终端产品的柔性线路板，是COF封装环节的关键材料；COF封装显示驱动芯片目前主要应用于电视、电脑及手机等产品的显示屏，是LCD/OLED显示屏的关键核心芯片之一。

COF载带生产出来以后需要进行抽样检测，选取COF载带中的任意一个单元进行检测，例如可以在SEM电子扫描显微镜下观察COF载带的电子线路结构、形状、排布等，需要观察COF载带的截面时，可以将COF载带制作成切面，将COF载带的截面研磨出来，再放到SEM电子扫描显微镜下观察。目前，在SEM电子扫描显微镜下观察是通过旋转样品杯和水平载物台结合的方式，将待检测的COF载带样品放置在水平载物台表面，然后将水平载物台安装到旋转样品杯中，再通过T轴和R轴调整旋转样品杯的角度，使得待检测样品呈现最佳角度后，开始检验。而这种方式，在调整旋转样品杯需要花费5分钟左右的时间，并且，一个水平载物台只能放置一个待检测样品，检测效率低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术中的COF载带检测效率低的技术问题。本发明提供一种COF载带检验使用的样品载物台及其使用方法，通过在样品载物台上设置多个倾斜面，一方面省去了调整样品杯角度的操作，节约了时间成本，另一方面，能够增加载物台放置样品的数量，可以同时检测多个样品，提高了检测效率。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种COF载带检验使用的样品载物台，包括：固定柱，以及载物台本体，所述载物台本体的下端面与所述固定柱固定连接，所述载物台本体上设有凸起安装部，所述凸起安装部的外侧面设有至少一个倾斜面，所述倾斜面的下端与所述载物台本体的上端面相连，所述倾斜面的上端与所述凸起安装部的顶面相连，所述倾斜面用于放置待检测的COF载带样品，所述倾斜面与所述上端面之间的夹角为α，85度≤α≤90度。

本发明的样品载物台通过在载物台本体上设置倾斜面，使得待测样品粘贴在倾斜面上时，待检测样品可以呈一定的角度，节省了调整样品杯的步骤，节约了时间成本，提高了检测效率。

进一步，优选的，所述倾斜面与所述上端面之间形成的夹角α为85度。

进一步，优选的，所述倾斜面垂直于所述上端面。

进一步地，所述倾斜面的数量为至少一个。载物台本体上可以同时设置多个倾斜面，每个倾斜面上可以放置1-2个待检测样品，成倍地增加了待检测样品摆放的空间。

进一步地，当所述倾斜面的数量为多个时，所述顶面的形状为长方形、三角形、正方形、五边形或六边形。每个倾斜面的大小优选为相同。