[发明专利]抛光装置、抛光装置的检测方法和抛光系统有效
| 申请号： | 202111101093.3 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113858034B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 熊超;段贤明 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/10;B24B37/34;B24B49/12 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种抛光装置、抛光装置的检测方法和抛光系统。该抛光装置包括：壳体，具有容纳空间；抛光垫，位于容纳空间内，抛光垫的第一表面用于承载晶圆；靶盘，位于容纳空间内，靶盘包括本体和设置在本体的第二表面的多个研磨颗粒，第二表面朝向第一表面；图像采集设备，用于采集靶盘在非工作位置时的第二表面的图像。本申请的方案无需将靶盘进行拆卸，只需要通过图像采集设备采集到的图像即可检测研磨颗粒的情况，检测的过程比现有的方案更为简单，进而解决了现有技术中的检测靶盘上的研磨颗粒情况的方案较为复杂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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