[发明专利]一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置在审
| 申请号： | 202111097158.1 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113714954A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 杨定勇;朱庆龙;张力峰 | 申请（专利权）人： | 扬州晶樱光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;B25H1/10 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 周鑫 |
| 地址： | 225100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开的属于硅片生产技术领域，具体为一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，包括转盘、调节柱、安装座与夹持机构，所述转盘内设有用于调节调节柱位置的驱动机构，且调节柱内设有液压装置，所述液压装置的伸缩端贯穿调节柱并与安装座连接，所述夹持机构包括两个固定座、左右两个连接座、驱动座与连接机构，左右所述连接座均通过轴承与相接近的安装座连接，本发明能够将硅片穿过两个固定座之间，插入驱动座与连接座内的凹槽中，同时通过转动连接座带动硅片转动，对硅片表面进行观察，同时通过电机一能够带动橡胶驱动辊转动，从而带动硅片转动，方便对硅片的边角进行目测检查，实现对硅片的全方位检查。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 目视 检测 过程 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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