[发明专利]一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置

说明书

本发明公开的属于硅片生产技术领域，具体为一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，包括转盘、调节柱、安装座与夹持机构，所述转盘内设有用于调节调节柱位置的驱动机构，且调节柱内设有液压装置，所述液压装置的伸缩端贯穿调节柱并与安装座连接，所述夹持机构包括两个固定座、左右两个连接座、驱动座与连接机构，左右所述连接座均通过轴承与相接近的安装座连接，本发明能够将硅片穿过两个固定座之间，插入驱动座与连接座内的凹槽中，同时通过转动连接座带动硅片转动，对硅片表面进行观察，同时通过电机一能够带动橡胶驱动辊转动，从而带动硅片转动，方便对硅片的边角进行目测检查，实现对硅片的全方位检查。

技术领域

本发明涉及硅片生产技术领域，具体为一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置。

背景技术

随着信息时代的高速发展，社会对于电子芯片的需求量急速增长，与此同时，人们对于制作芯片的原材料硅片的质量要求也越来越高。

硅片的生产制造过程中可能会在硅片上产生缺陷，包括崩边、划痕、裂纹等，这些缺陷又会给下游的进一步生产利用带来极大的风险，因此对于硅片进行全方位的检验至关重要。目视检查是一种重要的缺陷检测方法，该方法是指将强光灯产生的光束照射至硅片表面，同时对硅片表面及边缘部位中的被光束照亮的区域进行人眼目视检查，看表面是否光滑，边角切口是否平整，有无崩边缺角，以将有缺陷的硅片拦截。

在进行目视检测的过程中，常常使用到夹持装置对硅片进行夹持，现有的夹持装置在对硅片进行夹持时，需要对硅片边角进行夹持，从而使得目测产生盲区，无法实现对硅片全方位的检测。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，以解决上述背景技术中提出的对硅片边角进行夹持，会使目测产生盲区，无法实现对硅片全方位的检测的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于在硅片目视检测过程中夹持硅片的装置，包括转盘、调节柱、安装座与夹持机构，所述转盘内设有用于调节调节柱位置的驱动机构，且调节柱内设有液压装置，所述液压装置的伸缩端贯穿调节柱并与安装座连接，所述夹持机构包括两个固定座、左右两个连接座、驱动座与连接机构，左右所述连接座均通过轴承与相接近的安装座连接，左右所述连接座通过连接机构与两个固定座、驱动座连接，且固定座、连接座与驱动座中均螺接有螺杆，所述螺杆的一端通过轴承与限位垫连接，所述连接座与驱动座内均开设有能够容纳硅片的凹槽，且驱动座内设有橡胶驱动辊与电机一，所述橡胶驱动辊的驱动轴与电机一的输出轴通过皮带连接。

优选的，所述连接机构包括弧形架与弧形套体，且弧形套体内开设有能够容纳弧形架滑动的活动槽一，所述弧形架上设有凸块，且弧形套体内开设有能够容纳凸块的限位槽。

优选的，所述驱动机构包括电机二与丝杆，所述电机二的输出轴与丝杆的一端连接，所述丝杆的另一端通过轴承与转盘内壁连接，所述转盘上开设有能够容纳调节柱活动的活动槽二，且调节柱底部穿过活动槽二螺接在丝杆上。

优选的，所述转盘底部设有底座，且底座内设有电机三与转动柱，所述转动柱的一端与转盘连接，且转动柱的另一端通过轴承与底座内壁连接，所述转动柱外壁上设有从动齿盘，且电机三的输出轴与主动齿盘连接，所述主动齿盘与从动齿盘啮合。

优选的，所述限位垫为海绵限位垫，所述螺杆的另一端与调节盘连接。

优选的，所述弧形架内开设有能够容纳弹簧与凸块的活动槽三，所述弹簧的两端分别与凸块连接。

优选的，所述凹槽内壁上设有海绵保护垫。

优选的，所述橡胶驱动辊的外壁上设有润滑层。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：