[发明专利]一种返工片的清洗方法及清洗机有效
| 申请号: | 202111068554.1 | 申请日: | 2021-09-13 |
| 公开(公告)号: | CN113675301B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
| 发明(设计)人: | 王亚楠;刘宗刚;徐文州 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(眉山)有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B08B3/02;B08B3/08;B08B3/10;H01L31/0216;H01L31/068 |
| 代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 付兴奇 |
| 地址: | 620000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | 一种返工片的清洗方法及清洗机,属于光伏领域。清洗机包括:基座,具有机架、悬臂和机械手;其中,悬臂连接于机架,而机械手滑动地连接于悬臂,并且悬臂沿预设方向延伸;清洗槽,位于所述悬臂之下。清洗槽包括沿所述预设方向依次排布的第一酸洗槽、碱洗槽和第二酸洗槽。其中,第一酸洗槽和第二酸洗槽被用于容纳腐蚀隧穿层的酸洗液;碱洗槽被用于容纳腐蚀掺杂多晶硅层的碱洗液。该清洗机可以被用于对TOPCon电池的返工片进行有效和高效率的清洗。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 返工 清洗 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





