[发明专利]一种返工片的清洗方法及清洗机

说明书

一种返工片的清洗方法及清洗机，属于光伏领域。清洗机包括：基座，具有机架、悬臂和机械手；其中，悬臂连接于机架，而机械手滑动地连接于悬臂，并且悬臂沿预设方向延伸；清洗槽，位于所述悬臂之下。清洗槽包括沿所述预设方向依次排布的第一酸洗槽、碱洗槽和第二酸洗槽。其中，第一酸洗槽和第二酸洗槽被用于容纳腐蚀隧穿层的酸洗液；碱洗槽被用于容纳腐蚀掺杂多晶硅层的碱洗液。该清洗机可以被用于对TOPCon电池的返工片进行有效和高效率的清洗。

技术领域

本申请涉及光伏领域，具体而言，涉及一种返工片的清洗方法及清洗机。

背景技术

在制备太阳能电池的制程中，因为工艺、设备等问题往往会出现“废片”。为了避免资源浪费、降低成本等方面的考虑，需要对这些废片进行回收再利用。这样的一些废片在本领域中一般被称为之返工片，而对其进行的回收处理则主要是指返工处理，通常也可以简称为返工。

由于太阳能电池片基本上都是层状结构，因此，返工处理主要是把存在缺陷的结构和功能层去除，以便再根据需要对其进行再次制膜。

TOPCon电池是一种基于隧穿氧化层钝化接触(Tunnel Oxide PassivatedContact)太阳能电池技术。其电池结构特点一般为：N型硅衬底的背面具有一层超薄氧化硅和其上沉积的一层掺杂的多晶硅层。其中的超薄氧化硅和掺杂多晶硅层共同形成了钝化接触结构。该结构能有效降低表面复合和金属接触复合，为电池转换效率进一步提升提供了更大的潜力。

如前述，TOPCon电池的制程中同样会存在返工片，因此，需要对其进行清洗处理。

发明内容

本申请提出了一种返工片的清洗方法及清洗机，其可以改善、甚至解决目前的工艺难以对TOPCon电池的返工片进行有效清洗的问题。

本申请是这样实现的：

在第一方面，本申请的示例提供了一种用于去除隧穿氧化钝化接触太阳电池制程工艺中的返工片的清洗机。

其中，该返工片具有依次叠置的硅衬底、隧穿层、掺杂多晶硅层。清洗机背用于去除上述返工片中的隧穿层和掺杂多晶硅层。

清洗机包括：

基座，具有机架、悬臂和机械手，其中，悬臂连接于机架，机械手滑动地连接于悬臂，悬臂沿预设方向延伸；

清洗槽，位于悬臂之下；

清洗槽包括沿预设方向依次排布的第一酸洗槽、碱洗槽和第二酸洗槽；

第一酸洗槽和第二酸洗槽被用于容纳腐蚀隧穿层的酸洗液，碱洗槽被用于容纳腐蚀掺杂多晶硅层的碱洗液。

示例中的上述清洗机配置有酸洗槽以及碱洗槽且分别按照设定的顺序进行排布。因此，返工片也可以按照上述各槽的排布顺序被依次进行对应的清洗处理，即依次酸洗、碱洗、酸洗。通过上述结构的清洗机能够实现对TOPCon电池的返工片的高效率清洗。

根据本申请的一些示例，机械手的数量为多个，全部的机械手分别独立地滑动连接于悬臂。

配置多个机械手可以提高清洗效率，尤其是对于需要对批量的返工片进行清洗操作情况。多个机械手可以根据不同返工片位于不同工段而进行操作。

根据本申请的一些示例，基座具有多个悬臂，全部的机械手分别连接于多个悬臂。

机械手连接于悬臂，因此，悬臂实质上在一定程度上限定了机械手的运动方向和轨迹。因此，设置多个悬臂将有助于进一步提高机械手可运动空间，从而避免机械手彼此之间发生互相干扰。

根据本申请的一些示例，清洗机还包括用于放置返工片的载具，载具与机械手配合，且能够被机械手转移而被放置于第一酸洗槽、碱洗槽和第二酸洗槽中的任意一种内。