[发明专利]一种钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置

摘要

本发明公开了一种钙钛矿太阳能电池原位退火成膜装置，包括：基片；平台；加热组件，加热组件设置在平台附近，用于给基片提供热量；控制开关，控制开关用于控制加热组件的启停。在本发明中，在平台的基片上涂布膜层，涂布后膜层的位置不必发生变化，直接通过控制开关将加热组件打开，就可以对膜层进行加热退火。由于省去了向退火炉周转膜层的步骤，因此就能够规避膜层在自然状态下挥发溶剂。另外，本发明将加热组件设置在平台的下方，加热组件的热量通过热辐射快速传递给基片。膜层成型于基片上，如果从基片的底部开始加热，那么膜层中的溶剂会优先与表层的溶剂接收热量，如此便利于膜层中溶剂的挥发，从而解决了膜层中溶剂难以挥发的问题。