[发明专利]一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统在审
申请号: | 202111061973.2 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113694680A | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 陈曲;陈佳男;蒋剑;朱勇;吴晓宁;朱光福 | 申请(专利权)人: | 北京中石伟业科技无锡有限公司;北京中石伟业科技股份有限公司;北京中石伟业科技宜兴有限公司;无锡中石库洛杰科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/00 | 分类号: | B01D53/00;B01D53/04;B01D5/00 |
代理公司: | 无锡市兴为专利代理事务所(特殊普通合伙) 32517 | 代理人: | 屠志力 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于石墨导热膜生产设备技术领域,具体涉及一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统。本发明的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统,包括碳化炉、过滤组件和真空泵,所述碳化炉的出气口通过第一排气管道与过滤组件的进气口连接,所述过滤组件的出气口通过第四排气管道与真空泵连接;所述过滤组件包括依次设置的一级冷凝过滤器、二级吸附过滤器及三级吸附过滤器。本发明通过改变一级冷凝过滤器的冷凝管道排列,冷凝管道上翅片的排列密度和冷却进出水方式,增大二级吸附过滤器的有效面积,能够提高整个真空过滤系统的能力,保证系统真空度,避免废气对炉内产品的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 导热 碳化 真空 过滤 系统 | ||
【主权项】:
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