[发明专利]一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统

权利要求书

1.一种石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，包括碳化炉（1）、过滤组件和真空泵（13），所述碳化炉（1）的出气口通过第一排气管道（2）与过滤组件的进气口连接，所述过滤组件的出气口通过第四排气管道（16）与真空泵连接；所述过滤组件包括依次设置的一级冷凝过滤器（3）、二级吸附过滤器（6）及三级吸附过滤器（11）。

2.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述一级冷凝过滤器（3）的进气口与所述碳化炉（1）的出气口连接，所述一级冷凝过滤器（3）的出气口与二级吸附过滤器（6）的进气口连接，所述二级吸附过滤器（6）的出气口与三级吸附过滤器（11）的进气口连接，所述三级吸附过滤器（11）的出气口与真空泵（13）连接。

3.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述一级冷凝过滤器（3）壳体内设置有若干冷凝管道（5），所述一级冷凝过滤器（3）进出气口处未设置冷凝管道（5），所述冷凝管道（5）的整体分布密度为：邻近进出气口的布置密度较其他部位稀疏。

4.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述冷凝管道（5）上焊接有螺旋设置的不锈钢冷却翅片（501），相邻不锈钢冷却翅片（501）的间隙为4-6mm。

5.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述一级冷凝过滤器（3）中还设置有进水管道（4），冷却水通过所述进水管道（4）直接从上至下进入一级冷凝过滤器（3）的下部腔体（18A）内，再经过冷凝管道（5）回到一级冷凝过滤器（3）的上部腔体（18B），由出水口（17）排出，冷却水在冷凝管道（5）内的流动方向与废气在一级冷凝过滤器（3）中的流动方向相反。

6.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述二级吸附过滤器（6）内可拆卸地设置有支架（7），所述支架（7）通过设置在所述二级吸附过滤器（6）内壁上的支架限位器（8）进行固定。

7.根据权利要求6所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述支架（7）呈“U”字形，其自由端可拆卸地连接在所述二级吸附过滤器（6）的内壁上，并通过所述支架限位器（8）固定，所述支架（7）的“U”字形开口朝向所述二级吸附过滤器（6）的进气端。

8.根据权利要求6或7所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述支架（7）由两层不锈钢条板组成，两层不锈钢条板之间设置有吸附过滤材料（9），并通过固定螺丝（10）将二者紧固在一起。

9.根据权利要求1所述的石墨导热膜碳化炉真空过滤系统，其特征在于，所述三级吸附过滤器（11）内设置有滤芯（12），所述滤芯（12）折叠成瓦楞状，并呈圆柱形设置在三级吸附过滤器（11）中。