[发明专利]探针自动进针装置及探针自动进针方法在审
| 申请号： | 202111054880.7 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN113848349A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张伟杰;贡宝连;许克标;张伟 | 申请（专利权）人： | 国仪量子(合肥)技术有限公司 |
| 主分类号： | G01Q10/00 | 分类号： | G01Q10/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 王燕 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针自动进针装置及探针自动进针方法，其中，探针自动进针装置包括探针组件和两个位移台，探针组件和待测样品间隔设置，探针组件相对于待测样品移动或振动，两个位移台在设定方向移动并具有两个配合状态，在第一配合状态下，两个位移台相向运动，探针组件和待测样品分别设在两个位移台上，在第二配合状态下，两个位移台同向联动，探针组件和待测样品的一个设在位移台上，另一个设在固定台上，第一位移台的第一最大移动值小于第二位移台的第二最大移动值，探针组件和待测样品之间的距离小于第二最大移动值。本发明实施例的探针自动进针装置，两个位移台配合可将探针组件与待测样品由较远距离移动至目标距离，自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 自动 进针 装置 方法 | ||
【主权项】：
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