[发明专利]一种靶材清洗剂及其清洗方法在审
| 申请号： | 202111051645.4 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113773914A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄引驰;时晓旭 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/37 | 分类号： | C11D1/37;C11D3/386;C11D3/34;C11D3/22;C11D3/20;C11D3/60;C11D11/00;C11D1/83;C23G1/10;C23G1/24;B08B3/02;B08B3/10;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材清洗剂及其清洗方法，所述的靶材清洗剂按重量份包括以下组分：烷基磺酸钠9～20重量份，脂肪醇醚硫酸钠9～20重量份，巯基苯骈噻唑钠1～5重量份，蛋白酶2～5重量份，十二烷基硫酸钠2～7重量份。本发明操作流程简单，清洁效果好，并且清洗剂易于制备，成本低廉，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 靶材清 洗剂 及其 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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