[发明专利]极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件及其使用方法在审
| 申请号： | 202111049711.4 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113759673A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡明训;罗煜发;简上傑 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件及其使用方法在此叙述。组件包括环体结构。环体结构包括外环体及于外环体径向之内的内环体。组件还包括真空接口，其用以连接且接触内环体，其中内环体具有开口，开口的大小可调整使一个装置可穿过并进入真空接口。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 用于 使用 组件 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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