[发明专利]极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件及其使用方法

权利要求书

1.一种用于与一极紫外光室使用的组件，其特征在于，包含：

一环体结构，包含：

一外环体；及

一内环体，设置于该外环体径向之内；及

一真空接口，与该内环体连接并接触该内环体，

其中该内环体具有一开口，该开口的大小能够调整以使一装置穿过并进入该真空接口。

2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，其中该内环体包含：

一静止环体；

一转动环体，与该静止环体同中心；及

多个重叠叶片，分别连接至该静止环体及该转动环体，其中该多个重叠叶片定义该内环体的该开口。

3.根据权利要求2所述的组件，其特征在于，其中该多个重叠叶片的各个叶片通过一枢轴组件连接至该静止环体，通过一滑动组件连接至该转动环体，且该静止环体与该转动环体保持滑动接触。

4.根据权利要求2所述的组件，其特征在于，其中该真空接口包含：

一管状体，具有一第一端及相对该第一端的一第二端；及

一轮缘，从该管状体的该第一端径向延伸，其中该管状体与该内环体为同中心。

5.一种极紫外光室，其特征在于，包含：

一腔室体；

一真空口，设置于该腔室体的一侧边；

一真空接口，用以提供至该真空口；及

一环体结构，用以连接至该真空接口，该环体结构包含：

一内环体，包含多个重叠叶片，该多个重叠叶片被操作朝向或远离内环体中心移动，以调整该内环体的一开口的大小；及

一外环体，围绕该内环体设置，该外环体具有一第一部分及从该第一部分突出的一第二部分，该第一部分及该第二部分接触该内环体，

其中该内环体接触该真空接口的一部分。

6.根据权利要求5所述的极紫外光室，其特征在于，其中该外环体的一部分接触该真空接口的该部分。

7.根据权利要求6所述的极紫外光室，其特征在于，还包含：

一固定元件，能够操作以将该内环体、该外环体及该真空接口的该部分锁固在一起。

8.根据权利要求5所述的极紫外光室，其特征在于，其中该真空接口及该内环体的该开口使一装置能够穿过并进入该真空口。

9.根据权利要求8所述的极紫外光室，其特征在于，其中该装置是一量测设备。

10.一种用以将一装置连接至一真空接口的方法，其特征在于，包含：

提供一环体结构，具有一内环体及围绕该内环体的一外环体，该内环体包含多个重叠叶片以定义该内环体的一开口的一边界；

将该环体结构锁固至该真空接口的一部分，使该真空接口的该部分接触该内环体；

将该真空接口提供至设置于一极紫外光室一侧的一真空口；

将该装置插入穿过该环体结构，该真空接口，并进入该真空口，以对该极紫外光室执行一预防性维护；及

操作该多个重叠叶片朝向或远离该内环体中心移动，以依照该装置的一轮廓调整该开口的大小。