[发明专利]真空镀膜气源快换装置有效
| 申请号： | 202111042750.1 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN113739062B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 王涛;汪健;刘艳松;何小珊;李俊;何智兵 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | F17C3/00 | 分类号： | F17C3/00;F17C13/00 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 杨长青 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜气源快换装置，属于真空镀膜领域，解决现有气源装置通过可伐封接技术制作，存在成本高、难度大和不便于更换气源的问题。本发明的技术方案是：真空镀膜气源快换装置，包括支座、储气瓶、进气管和出气管，支座设置圆形沉孔，沉孔侧面螺纹连接压紧螺帽；储气瓶贯穿压紧螺帽，瓶口位于圆形沉孔内并通过压紧螺帽紧固，储气瓶、支座和压紧螺帽之间设置密封圈；圆形沉孔的底部设置两个通孔，通孔内设置进气管和出气管，进气管、出气管与支座间密封焊接，进气管和出气管分别密封连接载气接头。本发明采用金属密封焊接与可拆卸螺纹连接，以及密封圈对气源进行密封，避免了可伐封接，可快速、安全地更换易挥发固液体气源。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 气源快换 装置 | ||
【主权项】：
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