[发明专利]真空镀膜气源快换装置

权利要求书

1.真空镀膜气源快换装置，其特征在于：包括支座（1）、压紧螺帽（2）、储气瓶（3）、进气管（4）和出气管（5），支座（1）呈圆柱形或包括呈圆柱形的部位，圆柱的一个底面的中心处设置圆形沉孔，支座（1）在经过圆柱中心线的剖面上呈π或Π字形，π和Π字的下部开口为支座（1）的圆形沉孔，圆柱靠近圆形沉孔的侧面设置外螺纹，压紧螺帽（2）设置与圆形沉孔的孔径一致的穿孔并螺纹连接于支座（1）的外螺纹；

储气瓶（3）的瓶口为敞口状且呈圆环形，瓶口的外径与圆形沉孔的直径适配，储气瓶（3）贯穿压紧螺帽（2）的穿孔，瓶口位于支座（1）的圆形沉孔内并通过压紧螺帽（2）紧固，储气瓶（3）外壁、支座（1）的底面和压紧螺帽（2）之间还设置密封圈（6），密封圈（6）和压紧螺帽（2）之间设置硬质的垫圈（8），垫圈（8）的内径与储气瓶（3）的外径适配；支座（1）的外侧还固定设置外罩（9），储气瓶（3）和压紧螺帽（2）均位于外罩（9）内；

支座（1）的圆形沉孔的底部设置两个通孔，两个通孔内分别设置进气管（4）和出气管（5），进气管（4）的出口端位于储气瓶（3）的瓶底，出气管（5）的入口端位于储气瓶（3）的瓶口，进气管（4）的入口端和出气管（5）的出口端分别焊接载气接头（7），并且漏率不高于10^-10Pa·L/s，进气管（4）、出气管（5）和支座（1）和载气接头（7）均为金属材质且材质相同，进气管（4）的外壁和支座（1）之间密封焊接，出气管（5）的外壁和支座（1）之间密封焊接，进气管（4）与支座（1）之间、出气管（5）与支座（1）之间的漏率均不高于10^-10Pa·L/s。

2.如权利要求1所述的真空镀膜气源快换装置，其特征在于：垫圈（8）的材质为铜。

3.如权利要求1或2所述的真空镀膜气源快换装置，其特征在于：外罩（9）为敞口的圆筒，圆筒的周围设置观察口，圆筒的筒口套于支座（1）的圆柱形的外侧并通过螺钉固定于支座（1）。

4.如权利要求3所述的真空镀膜气源快换装置，其特征在于：储气瓶（3）为石英材质且呈透明状。

5.如权利要求1或2所述的真空镀膜气源快换装置，其特征在于：载气接头（7）为VCR接头，进气管（4）、出气管（5）、支座（1）和载气接头（7）均为不锈钢材质。