[发明专利]一种助熔剂法晶体生长在线补充物料系统在审
申请号: | 202111037281.4 | 申请日: | 2021-09-06 |
公开(公告)号: | CN113832535A | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 徐家跃;王昂;申慧;蒋颖穗;石祥宇;马健;方娅婷;周鼎;田甜 | 申请(专利权)人: | 上海应用技术大学 |
主分类号: | C30B9/12 | 分类号: | C30B9/12 |
代理公司: | 重庆以知共创专利代理事务所(普通合伙) 50226 | 代理人: | 高建华 |
地址: | 200233 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明申请属于晶体制备技术领域,具体公开了一种助熔剂法晶体生长在线补充物料系统,包括控制模块、投料模块、输送模块、储料模块、传感器模块、坩埚、生长炉;控制模块与投料模块、储料模块均电信号连接;控制模块负责系统的运行参数控制。本发明主要用于晶体生长补充物料,解决了现有技术中助熔剂法晶体生长过程出现物料不足而无法得到大尺寸晶体的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 熔剂 晶体生长 在线 补充 物料 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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