[发明专利]一种助熔剂法晶体生长在线补充物料系统

权利要求书

1.一种助熔剂法晶体生长在线补充物料系统，其特征在于，包括控制模块、投料模块、输送模块、储料模块、传感器模块、坩埚、生长炉；控制模块与输料模块、投料模块、储料模块均电信号连接；

控制模块负责系统的运行参数控制；储料模块负责补充熔质的放置，储料模块位于投料模块上部，负责接收信号向投料模块输送物料，投料模块为连续式投料，根据控制模块设定物料被投入输料模块经重力输送管道、缓冲管道被输送到坩埚中。

2.根据权利要求1所述的一种助熔剂法晶体生长在线补充物料系统，其特征在于，控制模块为单片机，通过信号传输线与储料模块、投料模块相关联控制补料状态。

3.根据权利要求1所述的一种助熔剂法晶体生长在线补充物料系统，其特征在于，输送模块可呈分体式，主输送管道与坩埚进料口之间连接有缓冲管道；输送管道与缓冲管道可分离。

4.根据权利要求1所述的一种助熔剂法晶体生长在线补充物料系统，其特征在于，补充的物料提前被压制成块状，输送物料块进入熔体以满足晶体生长需求。

5.根据权利要求1所述的一种助熔剂法晶体生长在线补充物料系统，其特征在于，坩埚在上部开有1个进料口，负责接收来自输料模块的熔质。