[发明专利]一种激光光路双焦点调节设备及方法在审
| 申请号： | 202111027974.5 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113547207A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 巩铁建;蔡正道;乔赛赛;陶为银 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/06;B23K26/04;B23K26/38 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 安申涛 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光光路双焦点调节设备及方法，包括主光路、分光镜、调焦光路、合束镜、第一反射镜、第二反射镜、光闸、调焦装置、第三反射镜和出光口；所述主光路与所述分光镜的入光口相对应，光闸的径向光出光口与调焦装置的径向光入光口相对应，所述调焦装置的径向光出光口与第三反射镜的向光入光口相对应，所述第三反射镜的轴向光出光口与合束镜的轴向光入光口相对应，合束镜的轴向光出光口与第一反射镜的径向光入光口相对应，第三反射镜的轴向光出光口与出光口相适应。通过本发明所述的激光光路双焦点调节设备及方法，不仅能够对激光光路的焦点进行调节使其满足能够对晶圆进行切割的基本需求，而且还具备调节效率高、调节效果好的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光路双 焦点 调节 设备 方法 | ||
【主权项】：
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