[发明专利]一种激光光路双焦点调节设备及方法

说明书

本发明提供一种激光光路双焦点调节设备及方法，包括主光路、分光镜、调焦光路、合束镜、第一反射镜、第二反射镜、光闸、调焦装置、第三反射镜和出光口；所述主光路与所述分光镜的入光口相对应，光闸的径向光出光口与调焦装置的径向光入光口相对应，所述调焦装置的径向光出光口与第三反射镜的向光入光口相对应，所述第三反射镜的轴向光出光口与合束镜的轴向光入光口相对应，合束镜的轴向光出光口与第一反射镜的径向光入光口相对应，第三反射镜的轴向光出光口与出光口相适应。通过本发明所述的激光光路双焦点调节设备及方法，不仅能够对激光光路的焦点进行调节使其满足能够对晶圆进行切割的基本需求，而且还具备调节效率高、调节效果好的特点。

技术领域

本发明涉及激光光路双焦点调节技术领域，具体涉及一种激光光路双焦点调节设备及方法。

背景技术

在进行硅晶圆加工制备作业中，通常采用激光切割的方式对晶圆进行切割。

为了满足激光对晶圆的切割需求，通常需要利用激光光路双焦点调节设备对激光光路进行调节。

现有的激光光路双焦点调节设备，虽然能够对激光光路进行调节，但却存在着调节效率低、调节效果差的缺陷。

发明内容

有鉴于此，本发明针对现有技术的不足，提供一种激光光路双焦点调节设备及方法，不仅能够对激光光路的焦点进行调节使其满足能够对晶圆进行切割的基本需求，而且还具备调节效率高、调节效果好的特点。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种激光光路双焦点调节设备，包括主光路、分光镜、调焦光路、合束镜、第一反射镜、第二反射镜、光闸、调焦装置、第三反射镜和出光口；

所述主光路与所述分光镜的入光口相对应，所述分光镜的径向光出光口与合束镜的径向光入光口相对应，所述分光镜的轴向光出光口与第二反射镜的轴向光入光口相对应，所述第二反射镜的径向光出光口与光闸的径向光入光口相对应，所述光闸的径向光出光口与调焦装置的径向光入光口相对应，所述调焦装置的径向光出光口与第三反射镜的向光入光口相对应，所述第三反射镜的轴向光出光口与合束镜的轴向光入光口相对应，所述合束镜的轴向光出光口与第一反射镜的径向光入光口相对应，所述第三反射镜的轴向光出光口与出光口相适应。

进一步的，所述光闸控制光路采用单焦点或双焦点方式加工。

进一步的，所述分光镜将主光路的激光分成主光路和轴向调焦光路，主光路直接通向合束镜；轴向调焦光路通过第二反射镜改向后形成平行于主光路的径向的调焦光路；

所述光闸控制径向的调焦光路通断将射入的径向光放大光斑直径并射出，经第三反射镜反向后射至合束镜；所述合束镜将垂直射入的主光路和经放大返回的调焦光路合并成一束新光，新光经第一反射镜反射后射向出光口。

进一步的，所述主光路和调焦光路形成双焦点方法用于晶圆激光隐切。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：通过主光路、分光镜、调焦光路、合束镜、第一反射镜、第二反射镜、光闸、调焦装置、第三反射镜和出光口的配合，能够快速高效地对激光光路的焦点进行调节，使其充分满足对晶圆进行切割的需求。

附图说明

图1为本发明的主视结构示意图；

图2为本发明的侧视结构示意图。

图中：1、主光路；2、分光镜；3、调焦光路；4、合束镜；5、第一反射镜；6、第二反射镜；7、光闸；8、调焦装置；9、第三反射镜；10、出光口。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。