[发明专利]一种激光光路双焦点调节设备及方法在审
| 申请号： | 202111027974.5 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113547207A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 巩铁建;蔡正道;乔赛赛;陶为银 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/06;B23K26/04;B23K26/38 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 安申涛 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光路双 焦点 调节 设备 方法 | ||
1.一种激光光路双焦点调节设备，其特征在于：包括主光路(1)、分光镜(2)、调焦光路（3）、合束镜(4)、第一反射镜(5)、第二反射镜（6）、光闸(7)、调焦装置8、第三反射镜(9)和出光口(10)；
所述主光路(1)与所述分光镜(2)的入光口相对应，所述分光镜(2)的径向光出光口(10)与合束镜(4)的径向光入光口相对应，所述分光镜(2)的轴向光出光口(10)与第二反射镜的轴向光入光口相对应，所述第二反射镜的径向光出光口(10)与光闸(7)的径向光入光口相对应，所述光闸(7)的径向光出光口(10)与调焦装置8的径向光入光口相对应，所述调焦装置8的径向光出光口(10)与第三反射镜（9）的向光入光口相对应，所述第三反射镜(9)的轴向光出光口(10)与合束镜(4)的轴向光入光口相对应，所述合束镜(4)的轴向光出光口(10)与第一反射镜（5）的径向光入光口相对应，所述第三反射镜（9）的轴向光出光口(10)与出光口(10)相适应。
2.如权利要求1所述的激光光路双焦点调节设备，其特征在于：所述光闸(7)控制光路采用单焦点或双焦点方式加工。
3.一种激光光路双焦点调节方法，基于权利要求1-2任一项所述的激光光路双焦点调节设备，其特征在于：所述分光镜(2)将主光路(1)的激光分成主光路(1)和轴向调焦光路(3)，主光路(1)直接通向合束镜(4)；轴向调焦光路(3)通过第二反射镜改向后形成平行于主光路(1)的径向的调焦光路；
所述光闸(7)控制径向的调焦光路通断将射入的径向光放大光斑直径并射出，经第三反射镜（9）反向后射至合束镜(4)；所述合束镜(4)将垂直射入的主光路和经放大返回的调焦光路合并成一束新光，新光经第一反射镜(5)反射后射向出光口(10)。
4.如权利要求3所述的激光光路双焦点调节方法，其特征在于：所述主光路(1)和调焦光路（3）形成双焦点方法用于晶圆激光隐切。
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