[发明专利]一种晶圆切割机用上料机构在审
| 申请号： | 202111027973.0 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113548477A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G49/07 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 安申涛 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆切割机用上料机构，包括安装座、伺服电机、减速器、交叉臂、气缸、上料吸盘、下料吸盘、待料位和工作位；减速器固定在安装座上，伺服电机设置在减速器的输入侧，交叉臂设置在减速器的输出侧，伺服电机带动交叉臂旋转运动，上料吸盘和下料吸盘通过两组所述的气缸和交叉臂连接在一起，气缸带动上料吸盘和下料吸盘进行升降运动，从而完成晶圆的上下料运动；气缸固定在所述交叉臂的两端，从而将上料吸盘与所述下料吸盘连接在一起，所述待料位为晶圆抓取位置，所述工作位为晶圆切割位置。通过本发明所述的晶圆切割机用上料机构，不仅能够完成对晶圆的上料过程和产品的下料过程，而且还能克服动作流程繁琐、交互效率低的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 用上 机构 | ||
【主权项】：
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