[发明专利]废弃蓝宝石衬底的再生方法及蓝宝石衬底在审
| 申请号： | 202111015732.4 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113782648A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 李刚;靳彩霞;张文燕;胡清富;潘树林;武杰 | 申请（专利权）人： | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 胡枫;李素兰 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种废弃蓝宝石衬底的再生方法，其包括：将废弃蓝宝石衬底采用第一溶液清洗；在1100～1400℃下进行热处理；再用第一溶液清洗，最后用氧化性溶液清洗，即得到再生蓝宝石衬底。其中，热处理过程中维持混合气体气氛，所述混合气体为氢气、氮气、氯气或氯化氢中的至少两种的混合物；第一溶液选用碱溶液，或所述第一溶液选用磷酸和/或硫酸；氧化性溶液选用硫酸、硝酸、双氧水中的一种或多种的混合物。相应的，本发明还公开了一种蓝宝石衬底，其采用上述再生方法再生得到。实施本发明，可解决大尺寸废弃蓝宝石衬底的再生问题，同时本发明工序简单，再生效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 废弃 蓝宝石 衬底 再生 方法 | ||
【主权项】：
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