[发明专利]感光性树脂层叠体和抗蚀图案的形成方法在审
| 申请号： | 202111009525.8 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN114114841A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 樱井隆觉 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种感光性树脂层叠体和抗蚀图案的形成方法。其课题在于，提供最小显影时间、分辨率、侧蚀(SE)量、对比度和渗出性中的至少一者优异的感光性树脂层叠体。一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其具有支承体和使用感光性树脂组合物在前述支承体上形成的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物包含以下的成分：(A)碱溶性树脂、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)光波长550～700nm的吸光度增大的化合物和(E)有机显色剂，感光性树脂组合物层的膜厚超过0且为10μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 层叠 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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