[发明专利]感光性树脂层叠体和抗蚀图案的形成方法

权利要求书

1.一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其具有：

支承体；以及

使用感光性树脂组合物在所述支承体上形成的感光性树脂组合物层，

所述感光性树脂组合物包含以下的成分：

(A)碱溶性树脂、

(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、

(C)光聚合引发剂、

(D)光波长550～700nm的吸光度增大的化合物、以及

(E)有机显色剂，

所述感光性树脂组合物层的膜厚超过0且为10μm以下。

2.一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其具有：

支承体；以及

使用感光性树脂组合物在所述支承体上形成的感光性树脂组合物层，

所述感光性树脂组合物包含以下的成分：

(A)碱溶性树脂、

(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、

(C)光聚合引发剂、

(D)光波长550～700nm的吸光度增大的化合物、以及

(E)有机显色剂，

在所述支承体上形成的所述感光性树脂组合物层的膜厚(μm)与相对于所述感光性树脂组合物的总量的所述(E)成分的含量(质量％)的乘积超过0且为5.0以下。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(E)成分的0.01mg/ml乙腈溶液在330nm或405nm处的吸光度为0.1以上且小于1.0。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，作为所述(E)成分，包含非离子性的有机显色剂。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，作为所述(C)成分，包含洛粉碱二聚物。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，作为所述(D)成分，包含具有三芳基甲烷骨架的化合物。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)成分的重均分子量为5000以上且小于55000。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)成分的含量相对于所述感光性树脂组合物的总量为10质量％～90质量％。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(B)成分的含量相对于所述感光性树脂组合物的总量为5质量％～70质量％。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(C)成分的含量相对于所述感光性树脂组合物的总量为0.01质量％～20质量％。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(D)成分的含量相对于所述感光性树脂组合物的总量为0.001质量％～3质量％。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(E)成分的含量相对于所述感光性树脂组合物的总量超过0且为3.5质量％以下。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(E)成分的含量相对于所述(A)成分的总量超过0且为2.5质量％以下。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)成分包含芳香族单体成分。

15.根据权利要求1～14中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，将使用所述感光性树脂层叠体而制作的抗蚀图案的曝光前后的色差设为ΔE，且将所述感光性树脂组合物层的厚度设为T[μm]时，能够形成ΔE/T为3.5以上的抗蚀图案。