[发明专利]一种MEMS湿压集成传感器及制备方法有效
| 申请号： | 202110986016.4 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN113428829B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康;侯鸿道;董旭光 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L1/14;G01L9/12;G01N27/22;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210049 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出MEMS湿压集成传感器及制备方法，包括：位于衬底上的CPW信号线及位于CPW信号线两侧的CPW地线，且CPW信号线包括主线、第一副线和第二副线；凹槽，设置在主线下方的衬底上，包括第一凹槽和第二凹槽；MEMS梁，分别位于第一凹槽的底面和靠近第一副线的两个侧面上、第二凹槽的底面和靠近第二副线的两个侧面上；MEMS薄膜，与第一凹槽形成密闭腔体；第二MEMS薄膜位于第二凹槽正上方，且主线两侧的部分设置通孔；感湿层，位于第二MEMS梁和第二MEMS薄膜之间；终端匹配电阻，位于第一副线和第二副线远离主线的一端；热电堆，位于终端匹配电阻远离主线的一端。利用本发明的结构可分别获取环境压强和环境湿度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 集成 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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