[发明专利]电极、干蚀刻设备和制造电极的方法有效
| 申请号： | 202110984975.2 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN113436956B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡广云;黄来国;权太植;金珉成;陶源;顾为飞 | 申请（专利权）人： | 湖北灿睿光电科技有限公司;合肥微睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 430073 湖北省武汉市东湖新技术开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种电极、干蚀刻设备和制造电极的方法。电极包括：铝基板（12），包括反应性气体的入口侧表面（13）和与入口侧表面（13）相对的反应性气体的出口侧表面（15），其中铝基板（12）还包括从入口侧表面延伸至出口侧表面（15）的多个均匀分布的贯通孔，贯通孔包括进气通道和与进气通道连通的安装孔（17）；以及多个嵌入体，每个嵌入体（14）由陶瓷制成并且从出口侧表面（15）被嵌入安装至安装孔，其中每个嵌入体（14）包括出气通道，出气通道与进气通道连通以使得来自入口侧表面的反应性气体进入进气通道并且通过出气通道而离开出口侧表面。根据本申请的电极能够显著提高电极的耐久性进而提高使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 蚀刻 设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北灿睿光电科技有限公司;合肥微睿光电科技有限公司，未经湖北灿睿光电科技有限公司;合肥微睿光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110984975.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：二维码处理方法与装置
- 下一篇：基于区分置信度水平的可迁移图像识别方法及系统
