[发明专利]一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统有效
| 申请号： | 202110980095.8 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113720276B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 蒋杰臣;孙亮;姜维春;徐玉朋;何会林;刘小桦;李鲜;杜园园;杨生;刘晓静;杨家卫;董泽芳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于探测器读出芯片平行度校准的方法及系统。本方法为：1)将芯片模块固定在三维影像测量仪上；2)在芯片模块上确定出芯片的安装位置；3)在芯片模块的陶瓷边框上选择N个点，芯片上表面选择M个点；4)导出各所选点的三维坐标到数据处理单元，生成陶瓷边框的拟合面；5)以拟合面作为基准面，计算出芯片上每一所选点相对于基准面的距离；6)如果芯片上各所选点相对于该基准面的距离均为正值或负值，则找出一距离绝对值最小值，将芯片上各所选点对应的距离与该最小值的差值，作为对应点需要调节的幅度值；否则找出距离大于0的点中最大距离值，将芯片上各所选点对应的距离与该最大距离的差值，作为对应点调节的幅度值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 探测器 读出 芯片 平行 校准 方法 系统 | ||
【主权项】：
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