[发明专利]一种低介电聚酰亚胺薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110978814.2 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113527735B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 梁力 | 申请（专利权）人： | 山东汇智鑫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C08J5/18 | 分类号： | C08J5/18;C08L79/08;C08K7/26;C08G73/10 |
| 代理公司： | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 罗炳锋 |
| 地址： | 257092 山东省东营*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明属于有机高分子材料技术领域，特别涉及一种低介电聚酰亚胺薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）内层含氟的SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 低介电 聚酰亚胺 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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