[发明专利]多通道电容耦合式等离子体射流装置及工作方法有效
| 申请号： | 202110976868.5 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113597078B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 李洲龙;梁锐彬;朱利民 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多通道电容耦合式等离子体射流装置及工作方法，包括：气体导流和混合结构、等离子体发生器、射频电路以及进气管道；所述气体导流和混合结构通过所述进气管道连通所述等离子体发生器；所述射频电路电连接所述等离子体发生器；所述等离子体发生器内安装阳极板、阴极板以及绝缘介质板；所述阳极板和所述阴极板之间安装所述绝缘介质板，所述绝缘介质板设置有多个反应通道。本装置各射流单元的流量可分别独立控制，使得线状射流的去除函数可以精确计算和调控，因而可以实现复杂表面的精细、高效修形。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 电容 耦合 等离子体 射流 装置 工作 方法 | ||
【主权项】：
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