[发明专利]激光照射设备在审
| 申请号： | 202110974545.2 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN114200683A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 金志桓;苏炳洙;崔锺勋 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/10;G02B27/12;H01L21/268 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 李子光 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了激光照射设备。激光照射设备包括：激光束生成器，生成第一激光束；光束扩展器，扩展第一激光束并且输出经扩展的第一激光束作为第二激光束；光束分离器，将第二激光束分成多个第三激光束并且输出多个第三激光束；以及光束聚集器，聚集多个第三激光束并且输出经聚集的多个第三激光束。光束扩展器包括具有第一焦距的第一透镜和具有第二焦距的第二透镜。第一透镜设置在激光束生成器和第二透镜之间，第二透镜设置在第一透镜和光束分离器之间，并且激光束生成器与第一透镜间隔开第一焦距。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 照射 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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